第228章 第四代光刻機

第四代光刻機應該是個什麽樣子？應該具備那些參數？這些東西，此時都已經裝在了趙烨的腦子裏。

首先，光刻機，顧名思義，要有光。

光是激光，而能用于工業生産上的激光，也就是那麽幾個波段。目前來講，趙烨他的應用的還是跟二十年前的一樣的高壓汞燈。

隻不過這種燈也更新換代好幾次了，提供的激光波長如今已經到了436nm。光源的波長，直接影響着芯片工藝的制程。

簡單理解，這個波長就好比鑿子的寬度，你想用一厘米寬的鑿子，雕刻半厘米寬的線。這幾乎是不可能的。

這裏用幾乎，當然就有特殊情況了。就比如趙烨他們搞得浸入式技術。在晶圓表層注入一毫米純淨水，利用水對光的折射，進而改變激光的波長。

這個技術，目前還是國内光刻機行業的絕密，所有接觸和知道這項技術的人，不客氣的講，都在保密部門的監督下生活着，隻不過他們自己不知道或者裝作不知道而已。

說這些，是因爲趙烨想要提高制程工藝，第一步要解決的就是光源的問題。

高壓汞燈還能在進步幾個波次，這項技術，還沒有到達他的極限。

對于沒有嚼幹淨味道的口香糖，趙烨是不會輕易吐掉的。所以第一個任務，就是攻克高壓汞燈的極限。把436nm和365nm波長的激光，做到工業生産的級别。

有了波長436nm的光刻光源，趙烨就能把利華當前的制程工藝提升到800-1200nm之間。使得利華高端芯片的制程，全面進入納米級别。

他的第二波次，是把制程進步到350-500nm。相應地要用到更短的波長，即365nm的光源。

而剛好436nm和365nm分别是高壓汞燈中能量最高、波長最短的兩個譜線。如此一來，不但能更高效的進行工業化生産，還能大大提高芯片的性能。

趙烨計劃用這兩個波次的高端芯片，直接沖擊目前的芯片市場。隻要兩個波次的時間把握好了，趙烨有信心，就這麽一下，市場上的光刻機生産商，最少得倒下一多半兒。

完善和研發成熟的高壓汞燈這項任務，落到了近些年來，主攻激光燈泉教授頭上。趙烨這次沒有“吝啬”，該給的方案都給了衆人。現在已經沒有保留的必要了，他最新的方案，已經準備放棄汞燈的路線，開發全新的光源系統。

新的光源系統組，毫無意外的落到了欣然的頭上。這個今年才24歲的小丫頭，目前正在準備結婚。趙烨爲此親自找到慈教授，讓他去做他孫子的工作。接下來的一到兩年，他是不準備給欣然走出實驗室的機會了。

“欣然，還有諸位，接下來，你們的新項目，是開發一種準分子激光，利用這種準分子激光，得到大功率的，能進行光刻的深紫外光。當前，你們的任務就是把這種激光做出來。做出來以後，我們再在其中，選出我們可以利用的波長。”說完，趙烨就開始給他的學生們發資料。

看着文件上的信息，就連欣然也感到頭皮發麻。這種技術要求太高了，目前看來，就跟外星科技一樣。

欣然隻是震驚了一下，就趕緊收斂心神，認真的聽趙烨講解技術難點和細節設想。

在趙烨的講解中，欣然等研究員，駭然的發現，趙烨這個導師已經把制程精度定在了350nm以下了。這意味着，他們要研發的光源波長，不能超過也300nm。事實也正如如此，趙烨給出的目标是兩個波段的要求，248nm和193nm。

這個要求，已經達到他前世九十年代末和新世紀初的技術水平了。可想而知，在當下的八十年代初，各方面的理論基礎都不完備的情況下，這個項目組要面臨怎麽樣的困難。

不過這并沒有讓這幫研究員們氣餒，因爲他們也不是特别清楚這到底意味着什麽。他們隻知道的是，他們的導師回歸一線了，他們又能愉快的攀爬技術高峰了。

這幫人對趙烨的信心，簡直比趙烨對系統爸爸的信心還要足。

光源隻是第一步，當然也是最重要的一步。沒有這個基礎，其他的東西想都不要想。

在給光源組布置好了任務以後，趙烨下一個目标就是透鏡組。

此時趙烨他們應用的透鏡，是川省一個光學儀器研究所的産品。在他們應用的光刻機上，這些透鏡組有大大小小幾十個，重量加起來絕對超過上千斤。

而即便是這樣，趙烨依然又給出了更高的要求。透鏡本身也是要消耗能量的，如果即能提高鏡片的透光度，又能保證鏡片研磨的平整度，還能減少對特定波長激光的損耗，就是擺在研究員和技師們面前最大的困難。

對于透鏡組來講，不單單是需要好學問的研究員，更加需要好手藝的技術工人。

就比如磨鏡片，目前基本都是手工。就目前趙烨他們的要求來講，對于直徑三十厘米的鏡片，平整度的誤差範圍是不高于三微米。

這個要求，任何的機器都基本沒戲，隻能依靠工人的雙手，一點點的去感覺，去打磨。在這個領域，基本沒有任何機器能代替人的雙手。而且，現在是這樣，再過四十年，依然是這樣。

在精細化方面，機器一直無法超越人類。

爲此，趙烨專門向上級申請了，要把這個研究所，并入利華集團來。這個研究所的人員并不會被轉移到京城，那樣隻能毀了這個研究所。

他要做的就是在以後的日子裏，保證這個研究所的經費，照顧好這些，生活在大山深處的匠人們的生活。

他們需要的是安靜，平淡，繁華隻能讓他們的心變得浮躁，進而影響到他們的手。

可能這很殘忍，但任何職業都有犧牲。趙烨能做的，隻是讓這種犧牲變得更值得。

對于光刻膠，趙烨隻是把光源組那邊的研究目标告訴他們，讓他們分别研發相應的光刻膠。對于這個，其實趙烨是最有把握的。安排專門的項目組，也是爲了培養隊伍。總不能沒次都是他自己來吧！

等着些事情都安排妥當後，趙烨就隻剩下另外一個困難了，那就是自動化控制。

目前的光刻機，已經基本脫離了人工操作的範疇。無論是效率還是精度上。人工操作都不能再适應新的要求了。

這一塊，對于趙烨來講，才是最難的部分。

在當下，曾經拒絕自己的京一機已經廢了。十年以來，他們幾乎就沒有過任何的進步。生産的東西還是老一套，任何的技術進步都看不到。

沈機好一些，但也就是好一些。因爲有很多的軍工任務，多少還保持着一些技術進步。但是在自動化控制這一塊，也是多年沒有過升級。如今他們就是想把這一塊撿起來，多少頁有點費勁，因爲不僅僅是技術出現了斷代人才同樣有斷代。

目前來講，趙烨想要在這塊搞技術研發的話，隻有兩個選擇。一個是鎮南的自動化研究所，另一個就是前幾年成立的西二機。

目前來講，自動化所勝在技術研發能力，西二機勝在技工隊伍和一線經驗。趙烨是個成年人，所以他的選擇是都要。

這兩家單位跟趙烨的交情都不淺，所以趙烨的求援電報一發出，兩家都排出了自己頂尖的力量，進行支援。

其實，這個光刻機整體應該是個什麽樣子，趙烨已經心中有數了，甚至于，其中的技術難點和解決方案，他都靠着系統給整理出來了。

在他的虛拟實驗室裏，這些都不是難事，真正的難點是，如何把這些東西變成實物。變成實實在在的生産裝備。

再一個全新的試驗車間裏，兩家派來的隊伍都集中在了這兒。他們要做的第一件事，就是給自己的設計搭建一個可靠的平台。

在以往，或者說在趙烨前世的時候，設計和生産幾乎可以放在不同的地方。

比如一台設備，設計師可以坐在寫字樓裏，在電腦或者圖紙上，盡情的構思，計算。然後一點點的實現設計要求中的能力，解決實際應用中的各種困難。

但在趙烨這裏，這個是行不通的。

原因很簡單，伱可以把圖紙畫成這樣，但是工廠不一定能生産出來。如今趙烨他們做的，幾乎已經超越了目前世界主流的生産加工能力。在國内的話，連台像樣的精密機床都沒有，你的設計圖再好，也不一定能實現。

所以怎麽辦呢？先在理論上，完成一個基本的設計思路，證明這個方法是能夠實現功能要求的。然後再根據這個設計思路，确定需要的裝備。能買的買，不能買的造。這還不算完，在這些事情之前，大家還要先搭建一個實驗平台，證明一下各個子項目的理論是不是能夠成型，是不是正确的。

這還是隻是機加工方面，具體到測量，控制系統，各種傳感器等等一系列的問題，都要他們這些人獨自啃下來。

(本章完)