“不要洩氣，搞研發就是如此，到底是什麽問題？”許振鳴在電話裏給郭連生打氣，随後就安排司機送他去鳴芯制造公司3号廠房。

無塵車間裏，郭連生的團隊正在拆卸蝕刻機的外殼，工人們都陰沉着臉，一聲不吭的在幹活。

“許董，看樣子國産等離子發生器的質量不行，換到老外的主機系統上根本不配套。”看到許振鳴走來，郭連生摘下口罩朝許振鳴苦笑着搖頭。

對于蝕刻機這種高精尖的機電一體化産品，許振鳴也已經是外行人了。蝕刻機用等離子光束清洗光刻膠，肉眼隻能看到一束光在矽晶圓片上掃射，除非用高精度電子顯微鏡才能看到部分矽晶圓片的電路蝕刻情況。

故此，許振鳴沒有不懂裝懂，而是皺着眉頭問道：“你認爲這是機械問題，還是控制問題，或者是系統問題？”

按照許振鳴的理解，郭連生的團隊在試驗之前，應該用國産蝕刻機做過一些調試實驗。他想知道用國産蝕刻機來蝕刻芯片電路的時候是否穩定，是否有過成功的案例。

“有是有過，但很不穩定。有時可以做到130納米，有的時候就做不到。所以我們采用替換法來找原因。”

“那你們離成功還遠的很呐。”許振鳴不由得的一揮手，示意郭連生應該冷靜下來，召開技術讨論會，探讨一下國産蝕刻機不穩定的故障緣由。

見老闆如此吩咐，郭連生朝幾位帶着眼鏡的工程師招了招手，“都停下來，咱們去會議室開會。”

不多久，衆人來到無塵車間内的一個内部小會議室，大家在無影燈下的小會議桌圍坐一圈。

“你們先說說，咱們國産蝕刻機不穩定的真正原因在哪兒？”待衆人都入座之後，郭連生臉色陰沉的朝手下的工程師們掃了一眼。

“許董，我認爲咱們研發的思路有點問題。蝕刻機的研發應該走逐步國産之路。”

“我以爲小王說得對。咱們應該先做蝕刻機的核心部件等離子發生器，然後再做主機系統。至于自動化控制系統，那是咱們的強項，不再考慮之列。”

“等離子發生器不是已經做了好嗎？關鍵這套系統的光源不穩定呀！”

受到打擊的工程師們都有點灰心喪氣，認爲問題就出在等離子[書趣閣　]發生器的身上。

等離子發生器是郝甯教授團隊的作品，但機械部分卻又是洪愛國團隊的配合。這下需要郝甯教授跟洪愛國派人來檢查原因了。

聽到這番議論，郭連生的臉色就跟難看，“咱們不能推卸責任。這故障本來就應該我們負責檢查和調試的。”

在他看來，光源部分的系統郝甯教授已經做過很多次試驗，而且已經拍胸部保證沒問題，不會出現等離子束不穩定的事情；洪愛國團隊制造的基座、支架等都用最先進的數控機床全機加工而成，精度肯定沒問題。

那麽出現今天這種情況，以及前面幾次試驗的故障情況等，統統都是他們半導體裝備制造公司設計，或者組裝調試出了問題。

聽完這個小故事，許振鳴總算搞明白是咋回事了。