甯雪畫完一個線條,放下鉛筆,站直身體,活動一下發酸的手腕,說道:“這是打闆用的圖紙,畫幅太大,家裏的打印機根本打印不出來。除非購買專用的繪圖儀,才能借助計算機畫這麽大的圖紙。”
吳志航尴尬一笑,說道:“我對你們服裝行業還真不太了解,還以爲服裝設計圖和電路圖一樣,都能用打印機打印呢。小雪,深圳那邊研發的光刻機已經生産出了樣機,明天我要回國去見證光刻機的第一次測試,你要一起回去嗎?”
甯雪搖搖頭,說道:“飛雪公司剛剛創建,連一件産品都沒賣出去,我肯定不能此時回國,你先自己回去吧。天地玄門不是能設置三個固定穿越點嗎,你在淺水灣别墅那裏設一個穿越點,以後白天在深圳上班,晚上通過天地玄門回淺水灣别墅陪我睡覺不就可以了。”
吳志航湊過頭去,在甯雪額頭親了一口,說道:“還是老婆你聰明,有了天地玄門,咱們就再也不怕兩地分居了。”
甯雪臉頰羞紅的将吳志航推開,說道:“這還在公司呢,不要動手動腳的。”
第二天,吳志航驅車返回了深圳電子産業園,連别墅也沒回,第一時間就來到了晶圓工廠。光刻機需要工作在超高無塵環境下,剛剛組裝完成的測試樣機正在無塵車間内安裝調試。吳志航換了一身白色防塵服,戴上防塵帽,通過風淋間進入無塵車間。
此時是上午十點左右,處于每天的早班時間,晶圓工廠的四條芯片生産線正在全力運作,數千名工人,正在生産線上,有條不紊的工作。走過生産區域,進入測試區域,以梁安平爲首的幾十名研究人員,正圍在一台一人多高的設備,做最後的調試,旁邊還有幾名北極星公司的高管站在那裏圍觀。吳志航湊上前去,朝研發部長吳光輝問道:“這台就是光刻機研發實驗室制作出的第一台光刻機,什麽時候能開始光刻測試?”
聽到有人提問,楊威力、丁小雅等人同時轉頭看過來,見是老闆吳志航,紛紛打招呼問好,吳光輝出聲給吳志航解釋道:“對,就是這台機器,昨天組裝完成之後,第一時間就從研發大樓搬運到了無塵車間,經過一天一夜的安裝調試,現在已經要差不多了。”
吳志航滿意的點點頭,圍着光刻機轉了一圈,這台設備爲全封閉結構,就像一個四四方方的鐵皮文件櫃,外殼噴塗成了乳白色,左右兩側,設置有矽晶圓入口和出口,靠外一側安裝着一個控制面闆和一台大屁股顯示器。他有些疑惑的問道:“隻看外表,和佳能、尼康的光刻機似乎都不太一樣,這是對外殼進行了優化嗎?”
吳光輝搖搖頭,說道:“不止優化了外殼,也優化了部分内部結構。老闆你提供的資料裏不是有一部分0.5微米光刻機的預研資料嗎,梁教授他們研發一微米光刻機的時候,參考了0.5微米光刻機的内部結構,對設計圖進行了一些更改優化。理論上來說,這些優化對晶圓的加工速度和加工精度,都有所提升,實際情況如何,還需要測試過後才知道。”
梁安平等人又忙活了半個多小時,光刻機終于調試完成,将提前準備好的掩膜版固定到掩膜版工作台上。楊威力通過對講機溝通,讓一位名爲白巧玲的女工,送來了幾十片已經塗好光刻膠的矽晶圓,梁安平親自動手,将矽晶圓安置到光刻機晶圓入口處的支架上,然後按下操作面闆上的啓動按鈕。光刻機内部傳出細微的機械轉動聲音,一張矽晶圓被機械臂送進光刻機内部,在深色玻璃觀察窗上,亮起一抹深邃的紫色光芒,開始對矽晶圓進行加工。
見狀,吳志航出聲詢問道:“這台光刻機使用的是哪種光源,是高壓汞燈産生的436nmg-line和365nmi-line,還是248nm的KrF(氟化氪)準分子激光作爲光源?”
吳光輝答道:“現在使用的是高壓汞燈産生的365nmi-line作爲光刻光源,理論上,這種光源能一直将光刻機的加工精度提升到0.35微米,作爲未來一兩代光刻機的光源足夠使用了。準分子激光光源,是下一代光刻機光源技術,咱們研發部已經立項開始研發,但這種技術在世界範圍内,也是最前沿研發項目,開發難度非常高,不是短期内能攻克的。”
這台光刻機的加工速度還是很快的,即使是初次測試,白巧玲拿來的幾十片矽晶圓也在二分鍾内,全部完成了光刻加工。這些光滑如鏡的矽晶圓上,多了很多方塊狀的紋路。測試用的掩膜版,是晶圓工廠正在生産的ARM1芯片掩膜版,其複雜程度和尺寸大小,是晶圓工廠出産的所有芯片之最。按照原本的計劃,第一次光刻測試,應該選用最爲簡單的單片機芯片作爲加工目标,這樣一來,就可以從易到難,逐步查漏補缺,将光刻機修改完善。但梁安平和幾個主要研發人員,對光刻機測試樣機非常有信心,直接上了最大難度,也是需求量最大的ARM1芯片。
北極星公司推出的第二代遊戲掌機上市之後,立刻受到電玩愛好者的熱捧,僅僅上市半個多月,就售出了300萬台。随機配送的《超級瑪麗》和《功夫小子》兩款遊戲,在畫面、音效、遊戲可玩性上,碾壓市面上的所有遊戲。遊戲掌機熱銷,作爲主控芯片的ARM1需求量大增,可是産品合格率始終徘徊在60%~70%之間,提升速度非常緩慢。經過孟小剛、梁安平,幾個相關領域的專家研究分析,認爲ARM1合格率過低的原因恰恰是光刻機精準度不達标造成的。晶圓工廠内的這幾條芯片生産線畢竟是使用了一二十年的設備,能正常生産芯片就不錯了,想要苛求加工參數完全達标,幾乎不可能。其中影響最大的,就是作爲核心設備的光刻機。