浸液系統,聽起來是一個普通得再也不能普通的名詞,但在光刻系統裏是一個新名詞。你可以認爲它很簡單,但要弄清楚這個系統,卻需要很長一段時間。
這個浸液系統不是那麽好研究的,牽涉問道控制、氣泡去除、液體選擇等等一系列的問題,去離子水隻是其中最簡單的一種。
等同行開始研究什麽是浸液系統時,重世研究院新一輪研究又緊鑼密鼓地開展起來,都是針對波長50nm左右的。
這不是一個簡單的升級換代,可能會出現一些劃時代的成果。
在這次項目讨論的最終會議上,面對三十七個項目負責人,龍建華提出,“芯片生産大的方面,我們的光刻和蝕刻已經處于世界頂尖水平。即使如此,光刻工序中,在矽片表面清洗烘幹、塗底、旋塗光刻膠、軟烘、對準曝光、後烘、顯影、硬烘等工序還隻能算作一般水平,有的甚至還落後于同行;在其它工序上,也隻有封裝這一道工序處于世界前茅。”
“有人說我自不量力,想把芯片生産設備全部自己開發,力抗整個世界。我們要知道,我們的研究院就是世界級的,這麽大一個研究院,半導體研究方面的人才就超過一萬,世界其它國家在研的也隻有這個數,爲何不能力抗全世界?”
“這次突破,對我們超越或追上同行是一個很好的機會。我們現在有157nm,遇到了不少問題,這是我們先知先覺的,是優勢。大家都在猶豫的時候,我們方向明确,一鼓作氣追上去。追上他們,超越他們。”
根據半導體事業部和銷售總公司商議的結果,兩年内不出售這樣的光刻機,使得自己保持一段時間的優勢;雖然157nm隻是一個過渡性的,但這個設想是重世研究院研究出來的,并沒對外公布技術線路,加上已經申報大量專利,别人要想研制出這樣的光刻機,也至少需要兩年。
有兩年時間,可以做很多事情,甚至可能會出現50nm的芯片。
對芯片的生産設備,龍建華隻“知道”一些節點,比如浸液系統,比如下一步在50nm……令他郁悶的是,人家筠研在試驗出157nm後,馬上斷言下一步就是這個數。
外行就是外行,真正的專家就是真正的專家,死記硬背總是比不上人家的理解與推理……
有157nm芯片壯腰,重世集團宣布對家電産品進行升級,自動化程度更高,使用更方便,引發各種同行大爲緊張。
有的是重世芯片的老顧客,馬上下單訂購這種芯片,以求不要被重世落下;這種單子,馬上被重世收了。這種訂單,是增加設備數量就可以解決的事情,多多益善。
有的發來訂單,要求購買這種設備。對這樣的訂單,得到的答複是,要兩年以後才能交貨。自己要優先使用,要打一個時間差,萬一被同行偷偷地研究,把那層紙捅破就很不好了,要讓他們經受那層紙的折磨……
他開完會,還沒走到辦公室,文翰如教授從樓梯口上來,笑着說,“龍教授,看來我的運氣不錯,一來就遇上了你。”
他緊走兩步,上前握着他的手說,“文教授,您怎麽親自過來了?有什麽事您說一聲,我過去就行。”
文翰如教授是重世研究院光刻機研究的第一人。
重世研究院的第一批人都是香島華文大學的,文翰如教授、餘諾偉教授以及柏東喜、孟福星、張珂藍、彭欣菲四位副教授。
那是隻有三個團隊,文翰如教授研究光刻機,餘諾偉教授研究晶圓,而柏東喜四位副教授研究軟件。
十年前,文翰如教授和餘諾偉教授因爲年齡已經七十多,精力體力跟不上,所以退出了相應的研究所,專心在大學上課,後來課也不上了,回家頤享天年。
其實,他們兩個當時的想法,龍建華是知道的,都是因爲思維不如别人的活躍,感覺已經有些吃力,故而請辭的。
龍建華還是很感謝他們的。如果他們不請辭,他絕對不會主動要他們離開。重世研究院之所以有今天,他們的貢獻巨大。
那時候的龍建華,外面不認識幾個人,主要精力放在集團的發展和找錢;而他們六人的到來,不但爲研究院找來不少研究人員,項目進展也超乎他的預料,令他非常滿意。
基于這種感恩的心,他将他們的年薪一提再提,兩人離開的時候,年薪都達到了六十萬美刀。他們有華文大學的工資,又在這裏領到這麽一筆錢,還有項目的分紅,迅速跨入了香島富翁之列。
和他走向辦公室途中,龍建華開玩笑,“文教授,退休在家,精神狀态越來越好。看來,天倫之樂能讓人返老還童。”
文翰如笑着說,“那還真是。人逢喜事精神爽,隻要心态好了,什麽病都不會上身。我現在偶爾也接接私活,給一些企業設計點設備什麽的。不爲賺錢,隻圖多動動腦子,防止老年癡呆。”
龍建華哈哈一笑,“這個辦法好。”
請他在沙發上坐定後問道,“今天哪陣風把您給刮來了?”
文教授哈哈笑道,“我70多公斤,一般的風挂不動。”
玩笑兩句後,他笑着說,“我是看新聞,說我們研究院的光刻機出現了曆史性的突破,現在讓同行心驚膽顫,所以想來看看。”
這話,引起了龍建華的警覺。離開研究院十二年,退休五年,從沒來過,今天卻來了。
不過,他表情不變地說,“也不算很大的突破。隻是我們提前捅破了那層紙。如果有同行腦筋一激靈,說不定馬上就可以捅破,馬上和我們處于同一起跑線。所以,我們無論在新聞發布會還是對客戶宣傳,都是很模糊的。”
文翰如笑着說,“我研究了那麽久的光刻機,一直就困在193nm,隻想看看突破後的設備,也滿足我這個老光刻機的獵奇心理。”
龍建華哈哈一笑,“說實話,我到現在都沒去看過組裝過程。您知道的,這是保密的需要。有些東西,很容易傳出去的,所以那裏已經被列爲保密場所。要想看,需要等解密。”
無論什麽情況,都不會讓他去看的,因爲他自己也确實沒去看過。能看到設備外觀的,隻有研究人員和相關生産系統人員;而能看到零部件以及組裝圖的,隻能是研究所那十來人。
龍建華這麽清楚地講出來,文翰如也不好強求,他在這裏幹過,知道強求不來的。在規章制度面前,任何人的面子都不會看。
作爲老闆的龍建華都這麽堅持,起模範帶頭作用,他還能說什麽呢?
對龍建華而言,這是制度,沒有例外。