第129章DUV光刻機



在王昊天的眼前,有一個白色的大殼子,上邊打着智慧殿堂的标志,現在智慧殿堂的logo已經确認了,就是一個仿古的有菱角的殿堂!

這就是小芳制作出來的光刻機。

看見王昊天專注的眼神,小芳略微有些得意:“我已經按照你的吩咐盡可能地降低配置了。”

說到這裏小芳情不自禁地瞥了一下嘴巴:“你們星球上的科技真的是低!”

“首先是激光發射器,因爲是制作45納米的光刻機,不能用可見光,也不能用紫外光,我們采用的是深紫外光,也就是所謂的DUV!”

“準确的說是ArF準分子激光,這種光的波長雖然是193納米,但是可以等效爲134納米。”

“就算是DUV光刻機,也是可以分爲兩種的,一種是幹分式的,另一種就是液浸式的,我們這一台選擇的是浸透式的,浸透式的光刻機在理論上在制造芯片的時候經過多重曝光之後工藝可以達到驚人的7納米!”

“但是幾乎沒有人才有DUV光刻機生産7納米的芯片,因爲每多增加一次曝光,那麽生産芯片的難度增加,良品率也不能有效的保證,種種因素結合在一起,就導緻了成本大大增加!”

根本就不劃算!

商人以追逐利益爲目标,這和本心背道而馳!

自然不會有人采用!

除非出發點不是爲了賺取利潤!

“所以根據我們的實際情況,隻要制造的芯片在于10納米以下,那麽我們就必須要考慮極紫外光了,也就是所謂的EUV光刻機。”

“不過……”說到這裏,小芳撇了撇嘴巴:“以我們的光刻機進展速度,距離制造EUV光刻機最起碼還需要三年呢!”

聽後王昊天點了點頭,現在他的目标就是制造45納米的光刻機,現在上城微電子設備公司已經可以可以量産90納米的光刻機了。

從90納米的光刻機提升到62納米的光刻機難道是不大的,可以這麽說,從90納米提升精度,隻要不到45納米都是比較容易做到的,一直到45納米這是一個技術關卡!

至于45納米之後還有28納米的,26納米的,22納米的……一直到10納米,7納米,5納米等等……

目标我們這顆星球上能實現量産的也就是5納米的罷了!

小芳繼續說道:“ArF準分子激光被激光發射器發射出來之後,光束有些偏差,這個時候必須經過光束矯正器進行矯正,你們星球上一般需要3個光束矯正器才能矯正出來自己需要的,而我在你們技術上經過改良優化,現在僅僅需要兩個光束矯正器就可以了。”這裏小芳有些得意,好像自己進行了降維打擊。

“還有,被矯正的光束能量還需要控制,這時候就需要能量控制器了,我們可以依靠能量控制器,控制光束之中的能量大小,我們想要大就要大,想要小就要小,完全在我們的掌控之中呢!”

“能量大小被我們控制了之後,我們還要控制光束的形狀!這時候就需要光束成型裝置了。”

小芳耐心地給王昊天解釋着,還把光刻機打開,一邊講解着,一邊給王昊天指出來儀器所在的具體位置:“光束成型裝置裏邊又包括着光束形狀設置以及遮光器。已經确定形狀和能量大小的光束在出了形狀成型裝置之後,還要經過一次能量檢測器檢查一次!”

“緊接着光束就會以圓柱形狀照射在光掩膜台上,光掩膜台上放着由芯片設計公司做好的光掩膜!”

“在光掩膜台上和曝光台之間還會有一個凸透鏡!”

“光束透過掩膜上的空隙,再經過凸透鏡折射到曝光台!在曝光台上會放着已經塗好光刻膠的矽晶圓片!”

“我這麽簡單地說了一下你能聽明白嗎?”小芳微笑着看了一眼王昊天。

王昊天點了點頭:“原理我還是能聽明白的。”

很誠實!

說到這裏,王昊天笑了笑:“不過要真的做出來,我還得靠你了。”說這一句話王昊天也不覺得丢人,在他的理念裏小芳能做出來的東西就是他的東西,大家不用分的這麽清楚。

“依靠你我是有些投機取巧了。”王昊天不得不承認,他對于光刻機僅僅停留在理論方面,至于實幹,那是一竅不通!

好在小芳制造這台45納米的光刻機用的都是我們星球上可以理解的技術,根本就沒有超綱!

而且技術也不算很高,王昊天可以賣給國内有需要的企業甚至……國家!

他們有真正的專家,如果有了45納米的光刻機之後,肯定可以迅速地吃透裏邊的技術,曾經外國就瘋狂叫嚣,瞧不起我們。

甚至大放厥詞:“就算給你們圖紙,你們也造不出來高端的光刻機!”

現在王昊天要做的就是一個合格的老師,一點一點的喂食,先從45納米的光刻機開始,一點一點提升光刻機的精密度,一點一點的增加難度,這樣從根本上提升我國的制造業!

總有一天,世人會發現王昊天爲華國所做的貢獻,就算被稱爲“現代工業之父”也不爲過!

因爲王昊天将會提升整個國家的制造水平!

僅僅一個稱号就能滿足了?

那是不可能的,王昊天野心大着呢!

比如現代軟件之父、現代智能之父、現代自動駕駛之父、現代火箭之父、現在新能源之父……

想想都讓人激動呢!

激動地都睡不着覺!

看見王昊天都流哈拉拉了,小芳拍打了一下光刻機的金屬殼。

啪!啪!啪!

這倒是把王昊天吓了一跳,趕緊上前一步拉住了小芳的手:“我的姑奶奶啊,千萬别拍壞了,這都是錢啊。”

“哼。”小芳不屑地說道:“老王你也不看看這是誰做的儀器了,要是能這麽容易就拍壞,那我……那我就跟你的姓!”

聽到這裏,王昊天說道:“要是别人拍肯定拍不壞,可是你不一樣呀。”

畢竟現在小芳可是有着機器外殼的,王昊天緊跟着說道:“不過你要跟着我的姓那也沒有關系,就叫王小芳吧,多麽的好聽,按照年紀……我應該算是你哥哥了。”

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